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产品分类
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产品信息
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2-6英寸区熔本征高阻抛光硅片 |
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生长方式 |
悬浮区熔法单晶（FZ） |
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直径和公差 |
2-6英寸 |
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型号/掺杂类型 |
无掺杂 |
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晶向 |
<100> <111> |
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电阻率(Ω·cm) |
1000-10000 (Ω·cm) 可按客户要求订制范围 |
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厚度和公差(μm) |
按照客户要求订制 ±10 |
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平整度 Tir(μm） |
<3μm |
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翘曲度 TTV(μm) |
<15μm |
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弯曲度 Bow(μm) |
<15μm |
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粗糙度 Ra (nm) |
<0.5nm |
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颗粒(# per wafer) |
< 10 (for size > 0.3μm) |
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包装方式 |
25片装 无尘真空包装 |
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厚度(μm) |
300-500(可按要求定制） |
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可根据客户要求定制 大量现货低价常年批发欢迎来电咨询价格 |
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